PE原子吸收光谱仪可测定多种元素，火焰原子吸收光谱法可测到10-9g/mL数量级，石墨炉原子吸收法可测到10-13g/mL数量级。其氢化物发生器可对8种挥发性元素汞、砷、铅、硒、锡、碲、锑、锗等进行微痕量测定。
目前，PE原子吸收光谱仪主要是由五部分组成，分别为激发光源、原子化器、单色器、检测与控制系统、数据处理系统，此外还有仪器背景校正系统。
1、光源：
原子吸收光谱仪的光源主要有空心阴极灯和无极放电灯两种。
①空心阴极灯：这种灯是目前普遍应用的光源，是由一个钨棒阳极和一个内含有待测元素的金属或合金的空心圆柱形阴极组成的。两极密封于充有低压惰性气体带有窗口的玻璃管中。接通电源后，在空心阴极上发生辉光放电而辐射出阴极所含元素的共振线。
②无极放电灯：这种灯是把被测元素的金属粉末与碘一起装入一根小的石英管中，封入267～667Pa压力的氩气。将石英管放于2450MHz微波发生器的微波谐振腔中进行激发。这种灯发射的原子谱线强，谱线宽度窄，测定的灵敏度高，是原子吸收光谱法中性能较为突出的光源。
2、原子化器：
可分为预混合型火焰原子化器、石墨炉原子化器、石英炉原子化器、阴极溅射原子化器。
①火焰原子化器：由喷雾器、预混合室、燃烧器三部分组成；其特点是操作简便、重现性好；
②石墨炉原子化器：是一类将试样放置在石墨管壁、石墨平台、碳棒盛样小孔或石墨坩埚内用电加热至高温实现原子化的系统；
③石英炉原子化系统：是将气态分析物引入石英炉内在较低温度下实现原子化的一种方法，又称低温原子化法。它主要是与蒸气发生法配合使用；
④阴极溅射原子化器：是利用辉光放电产生的正离子轰击阴极表面，从固体表面直接将被测定元素转化为原子蒸气。
3、单色器：
单色器的性能是指色散率、分辨率和集光本领。分出被测元素谱线。由凹面反射镜、狭缝或色散元件组成；色散元件为棱镜或衍射光栅；
4、检测与控制系统：
检测器用来完成光电信号的转换，即将光信号转换为电信号，检测器一般用光电倍增管，近年来固体检测器也开始得到应用。控制系统用来控制和协调光谱各部件工作，AAS大部分采用单片机或通用PC机控制。
5、数据处理系统：
通过PC机软件实现信号积分、连续平均值、峰高、峰面积的记录，同时计算出多次测量的平均值及相对标准偏差，对工作曲线采用不同的拟合，打印输出测量结果等。
